Plasma Cleaner bubuka

Plasma, sapertos padet, cair, sareng gas, mangrupikeun kaayaan zat, ogé katelah kaayaan kaopat zat. Plasma kabentuk nalika énergi anu cukup diterapkeun kana gas pikeun ngaionisasina. Komponén "aktif" plasma ngawengku ion, éléktron, radikal réaktif, nuklida bungah (kaayaan métastabil), jeung foton. Sistem perlakuan permukaan plasma ngagunakeun sipat komponén aktif ieu pikeun ngubaran surfaces sampel, achieving tujuan kayaning beberesih, modifikasi, sarta ashing photoresist.